留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

双光纤相移点衍射干涉仪装调技术

张宇,  金春水,  马冬梅,  王丽萍

downloadPDF
文章导航 > 红外与激光工程  > 2014 >  43(1): 145-150
张宇, 金春水, 马冬梅, 王丽萍. 双光纤相移点衍射干涉仪装调技术[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(1): 145-150.
引用本文: 张宇, 金春水, 马冬梅, 王丽萍. 双光纤相移点衍射干涉仪装调技术[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(1): 145-150.
shu
Zhang Yu, Jin Chunshui, Ma Dongmei, Wang Liping. Alignment technology for double-fiber phase-shifting point diffraction interferometer[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(1): 145-150.
Citation: Zhang Yu, Jin Chunshui, Ma Dongmei, Wang Liping. Alignment technology for double-fiber phase-shifting point diffraction interferometer[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(1): 145-150.
shu

双光纤相移点衍射干涉仪装调技术

  • 1.

    东北电力大学理学院,吉林吉林132012;

  • 2.

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033

基金项目: 

东北电力大学博士科研启动基金（BSJXM-201218）

详细信息
    作者简介:

    张宇（1985- ），女，讲师，博士，主要从事光学检测方面的研究。Email：521zhangyu2008@163.com

  • 中图分类号: O436.1

Alignment technology for double-fiber phase-shifting point diffraction interferometer

  • 1.

    College of Science,Northeast Dianli University,Jilin 132012,China;

  • 2.

    State Key Laboratory of Applied Optics,ChangchunInstitute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China

  • 摘要: 为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测，引入了双光纤相移点衍射干涉仪，介绍了其工作原理，并对干涉仪的装调方案进行了精密的设计。解决了各个元器件的精确定位问题，保证了进入光纤之前的测试光和参考光严格垂直， 实现了耦合系统与光纤之间最大的耦合效率和干涉条纹最大的条纹对比度， 为最终能够实现极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测提供了前期准备。装调完毕后，利用实验装置对某一光学系统进行了测量，使用十三步相移算法还原被检光学系统波像差，得到了较好的结果，测试结果为：PV 值为37.82 nm，RMS 值为7.83 nm。
    Abstract: In order to measure the wavefront aberration of the EUVL objective system with the super high accuracy, the double-fiber phase-shifting point diffraction interferometer was introduced, its working principle was introduced, and the adjustment scheme of interferometer was designed critically. All the components were positioned accurately, the test beam and reference beam were ensured to be strictly vertical, the maximum coupling efficiency between the coupling system and optical fiber and maximum fringe contrast were realized, which provided preparation for ultimately ultra high precision test of the wavefront aberration of EUVL objective system. After the alignment was completed, an optical system was measured by the experimental device, the tested optical system wavefront aberration was restored by the 13-frame phase-shifting algorithm, the good results were obtained. The results are: PV value is 37.82 nm, RMS value is 7.83 nm.
  • [1] Zhang Yu, Jin Chunshui, Ma Dongmei, et al. Analysis of measuring errors for the visible light phase shifting point diffraction interferometer[J]. Infrared and Laser Engineering, 2012, 41(5): 1351-1356. (in Chinese) 张宇, 金春水, 马冬梅, 等. 可见光移相点衍射干涉仪的测 试误差分析[J]. 红外与激光工程, 2012, 41(5): 1351-1356.
    [2]
    [3]
    [4] Zhang Yu, Jin Chunshui, Ma Dongmei, et al. Analysis of air turbulence errors for visible light phase shifting point diffraction interferometer[J]. Infrared and Laser Engineering, 2012, 41(7): 1900-1904. (in Chinese) 张宇, 金春水, 马冬梅, 等. 可见光移相点衍射干涉仪的空 气扰动误差分析[J]. 红外与激光工程, 2012, 41(7): 1900- 1904.
    [5]
    [6] Otaki, Yamamoto T, Fukuda Y, et al. Accuracy evaluation of the point diffraction interferometer for extreme ultraviolet lithography aspheric mirror [J]. J Vac Sci Technol B, 2002, 20(1): 295-300.
    [7]
    [8] Otaki K, Ota K, Nishiyama I, et al. Development of the point diffraction interferometer for extreme ultraviolet lithography: Design, fabrication, and evaluation [J]. J Vac Sci Technol B, 2002, 20(6): 2449-2457.
    [9]
    [10] Kazuya Ota, Tokahiro Y amamoto, Yusuke Fukuda, et al. Advanced point diffraction interferometer for EUV aspherical mirrors[C]//SPIE, 2001, 4343: 543-550.
    [11]
    [12] Lu Zengxiong, Jin Chunshui, Zhang Lichao et al. Wave-front quality analysis of three-dimension pinhole vector diffractional in extreme ultraviolet region [J]. Acta Optica Sinica, 2010, 30(10): 2849-2854. (in Chinese) 卢增雄, 金春水, 张立超, 等. 极紫外三维小孔矢量衍射波 前质量分析[J]. 光学学报, 2010, 30(10): 2849-2854.
    [13] Nie Liang, Han Jun, Yu Xun, et al. Phase shifting interferograms processing for fiber point-diffraction interferometer[C]//SPIE, 2008, 7155: 71551G.
    [14]
    [15]
    [16] Sommargren Gary E, Phillion Donald W, Johnson Michael A, et al. 100-picometer interferometry for EUVL [C]//SPIE, 2002, 4688: 316-328.
    [17]
    [18] Seiji Takeuchi, Osamu Kakuchi, Kenji Yamazoe, et al. Visible light point-diffraction interferometer for testing of EUVL optics[C]//SPIE, 2006, 6151: 61510E.
    [19] Johnson Michael A, Phillion Donald W, Sommargren Gary E, et al. Construction and testing of wavefront reference sources for interferometry of ultra-precise imaging systems[C]//SPIE, 2005, 5869: 58690P.
    [20]
    [21]
    [22] He Jun, Wang Qing, Chen Lei. Alignment of twyman-green infrared phase-shifting interferometer [J]. Infrared and Laser Engineering, 2008, 37(3): 516-520. (in Chinese) 贺俊, 王青, 陈磊. 移相式泰曼-格林红外干涉仪调试技术[J]. 红外与激光工程, 2008, 37(3): 516-520.
    [23] Cao Xiaojun, Zhang Xuejun, Li Yanhong. Adjustment method and fringe analysis of fiber point diffraction interferometer[J]. Modern Optical Instruments, 2003, 3: 28-30. (in Chinese) 曹晓君, 张学军, 李艳红. 光纤点衍射干涉仪调整方法与 条纹分析[J]. 现代光学仪器, 2003, 3: 28-30.
  • [1] 苏航, 王孝坤, 程强, 李凌众, 王晶, 李雯研, 吴琼, 唐瓦, 罗霄, 张学军.  子孔径拼接和计算全息混合补偿检测大口径凸非球面(特邀) . 红外与激光工程, 2022, 51(9): 20220576-1-20220576-9. doi: 10.3788/IRLA20220576
    [2] 张誉馨, 黎发志, 闫力松, 严冬, 王超凡, 张宇鹤, 张斌智, 张鑫, 蔡铭宣, 何俊超, 王孝坤.  结合CGH与辅助透镜的长焦距非球面反射镜检测（特邀） . 红外与激光工程, 2022, 51(9): 20220384-1-20220384-6. doi: 10.3788/IRLA20220384
    [3] 王孝坤, 戚二辉, 胡海翔, 苏航, 李凌众, 王晶, 罗霄, 张学军.  超大口径平面反射镜的光学检测（特邀） . 红外与激光工程, 2022, 51(1): 20210953-1-20210953-7. doi: 10.3788/IRLA20210953
    [4] 沈正祥, 王旭, 余俊.  基于离散化路径与拼接的高精度光学检测方法 . 红外与激光工程, 2022, 51(11): 20210144-1-20210144-10. doi: 10.3788/IRLA20210144
    [5] 张俊, 宫雪非.  大口径长焦距光学检测系统强制对流方法 . 红外与激光工程, 2022, 51(12): 20220204-1-20220204-8. doi: 10.3788/IRLA20220204
    [6] 王晶, 王孝坤, 胡海翔, 李凌众, 苏航.  夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜(特邀) . 红外与激光工程, 2021, 50(10): 20210527-1-20210527-7. doi: 10.3788/IRLA20210527
    [7] 闫力松, 张斌智, 王孝坤, 黎发志.  平面镜子孔径加权拼接检测算法(特邀) . 红外与激光工程, 2021, 50(10): 20210520-1-20210520-6. doi: 10.3788/IRLA20210520
    [8] 相超, 王道档, 窦进超, 孔明, 刘璐, 许新科.  光学偏折子孔径拼接面形检测技术 . 红外与激光工程, 2021, 50(11): 20210105-1-20210105-7. doi: 10.3788/IRLA20210105
    [9] 王聪, 陈佳夷, 栗孟娟, 王海超, 李斌.  基于干涉测量的Ф1.3 m非球面反射镜定心 . 红外与激光工程, 2020, 49(1): 0113001-0113001(6). doi: 10.3788/IRLA202049.0113001
    [10] 闫公敬, 张宪忠.  子孔径拼接检测凸球面技术研究 . 红外与激光工程, 2016, 45(5): 517002-0517002(4). doi: 10.3788/IRLA201645.0517002
    [11] 王孝坤.  非零位补偿检验非球面技术 . 红外与激光工程, 2015, 44(9): 2702-2709.
    [12] 戚二辉, 罗霄, 李明, 郑立功, 张学军.  五棱镜扫描技术检测大口径平面镜的误差分析 . 红外与激光工程, 2015, 44(2): 639-646.
    [13] 张宇, 金春水, 马冬梅, 王丽萍.  光纤相移点衍射干涉仪关键技术 . 红外与激光工程, 2015, 44(1): 254-259.
    [14] 王孝坤.  异形口径离轴非球面光学加工与测试技术 . 红外与激光工程, 2014, 43(9): 2959-2963.
    [15] 闫公敬, 张宪忠, 李柱.  子孔径拼接检测光学平面反射镜技术 . 红外与激光工程, 2014, 43(7): 2180-2184.
    [16] 王一凡.  应用干涉仪对经纬仪光学系统主镜的装调和检测 . 红外与激光工程, 2013, 42(5): 1275-1279.
    [17] 郭玲玲, 张星祥, 张立国, 任建岳.  离轴非球面镜检测中坐标系偏差对参数拟合的影响 . 红外与激光工程, 2013, 42(10): 2800-2804.
    [18] 王孝坤.  大口径凸非球面反射镜子孔径拼接检测 . 红外与激光工程, 2013, 42(3): 716-722.
    [19] 王宁, 贾辛, 邢廷文.  子孔径拼接检测浅度非球面 . 红外与激光工程, 2013, 42(9): 2525-2530.
    [20] 闫力松, 王孝坤, 罗霄, 郑立功, 张学军.  采用三角剖分算法的子孔径拼接检测技术 . 红外与激光工程, 2013, 42(7): 1793-1797.
  • 加载中
WeChat 点击查看大图
计量
  • 文章访问数:  256
  • HTML全文浏览量:  10
  • PDF下载量:  162
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2013-05-05
  • 修回日期:  2013-06-03
  • 刊出日期:  2014-01-25

双光纤相移点衍射干涉仪装调技术

  • 1. 东北电力大学理学院,吉林吉林132012;
  • 2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033
    • 作者简介:

    张宇（1985- ），女，讲师，博士，主要从事光学检测方面的研究。Email：521zhangyu2008@163.com

  • 收稿日期: 2013-05-05
  • 修回日期: 2013-06-03
  • 刊出日期: 2014-01-25
基金项目:

东北电力大学博士科研启动基金（BSJXM-201218）

  • 中图分类号: O436.1

摘要: 为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测，引入了双光纤相移点衍射干涉仪，介绍了其工作原理，并对干涉仪的装调方案进行了精密的设计。解决了各个元器件的精确定位问题，保证了进入光纤之前的测试光和参考光严格垂直， 实现了耦合系统与光纤之间最大的耦合效率和干涉条纹最大的条纹对比度， 为最终能够实现极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测提供了前期准备。装调完毕后，利用实验装置对某一光学系统进行了测量，使用十三步相移算法还原被检光学系统波像差，得到了较好的结果，测试结果为：PV 值为37.82 nm，RMS 值为7.83 nm。

English Abstract

    全文HTML

参考文献 (23)

目录

    /

    返回文章
    返回

    版权所有 © 2019 《红外与激光工程》编辑部｜ 地址: 天津市空港经济区中环西路58号｜ 邮政编码: 300308

    津ICP备19007885号-1

    本系统由 北京仁和汇智信息技术有限公司 开发    百度统计