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大口径导光板抛光及其功率谱密度分析

王伟 徐敏 李洪玉 于国域

王伟, 徐敏, 李洪玉, 于国域. 大口径导光板抛光及其功率谱密度分析[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(4): 982-987.
引用本文: 王伟, 徐敏, 李洪玉, 于国域. 大口径导光板抛光及其功率谱密度分析[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(4): 982-987.
Wang Wei, Xu Min, Li Hongyu, Yu Guoyu. Polishing of large-aperture mirror and analysis of power spectral density[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(4): 982-987.
Citation: Wang Wei, Xu Min, Li Hongyu, Yu Guoyu. Polishing of large-aperture mirror and analysis of power spectral density[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(4): 982-987.

大口径导光板抛光及其功率谱密度分析

基金项目: 

国家科技重大专项课题(2011ZX02402)

详细信息
    作者简介:

    王伟(1982-),男,博士,主要从事超精密光学制造方面的研究。Email:wangweiww88@gmail.com;徐敏(1959-),男,教授,博士生导师,主要从事超精密光学制造与检测方面的研究。Email:minx@fudan.edu.cn

    王伟(1982-),男,博士,主要从事超精密光学制造方面的研究。Email:wangweiww88@gmail.com;徐敏(1959-),男,教授,博士生导师,主要从事超精密光学制造与检测方面的研究。Email:minx@fudan.edu.cn

  • 中图分类号: TH161.14

Polishing of large-aperture mirror and analysis of power spectral density

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出版历程
  • 收稿日期:  2012-08-10
  • 修回日期:  2012-09-15
  • 刊出日期:  2013-04-25

大口径导光板抛光及其功率谱密度分析

    作者简介:

    王伟(1982-),男,博士,主要从事超精密光学制造方面的研究。Email:wangweiww88@gmail.com;徐敏(1959-),男,教授,博士生导师,主要从事超精密光学制造与检测方面的研究。Email:minx@fudan.edu.cn

    王伟(1982-),男,博士,主要从事超精密光学制造方面的研究。Email:wangweiww88@gmail.com;徐敏(1959-),男,教授,博士生导师,主要从事超精密光学制造与检测方面的研究。Email:minx@fudan.edu.cn

基金项目:

国家科技重大专项课题(2011ZX02402)

  • 中图分类号: TH161.14

摘要: 光学技术对于现代科学尤其是航天科学的发展起着越来越重要的作用。而具有高精度大口径光学元器件的跨尺度加工一直是现代光学技术的难点。超精密气囊抛光技术是基于计算机控制光学表面成形技术。其采用充气的柔性抛光气囊作为抛光工具,解决了传统数控抛光方法中抛光头不能很好地和工件吻合的缺点。以Preston方程为基础,研究了超精密气囊抛光的理论材料去除特性,建立了气囊抛光中进动运动方式下的材料去除模型,并针对气囊抛光工具的物理特性,按照Hertz接触理论对去除模型进行了修正。在理论分析的基础上完成了一块口径为570 mm的平面楔形工件的抛光,使得工件的面形精度P-V值达到了1/8 ,RMS值达到1/75 。并分析了该元件的功率谱密度(PSD)曲线,窄带噪声及其产生原因。

English Abstract

参考文献 (19)

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