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质子注入型光子晶体垂直腔面发射激光器制备

蒋国庆 徐晨 解意洋 荀孟 曹亚鹏 陈弘达

蒋国庆, 徐晨, 解意洋, 荀孟, 曹亚鹏, 陈弘达. 质子注入型光子晶体垂直腔面发射激光器制备[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(12): 1205001-1205001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.1205001
引用本文: 蒋国庆, 徐晨, 解意洋, 荀孟, 曹亚鹏, 陈弘达. 质子注入型光子晶体垂直腔面发射激光器制备[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(12): 1205001-1205001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.1205001
Jiang Guoqing, Xu Chen, Xie Yiyang, Xun Meng, Cao Yapeng, Chen Hongda. Fabrication of proton-implanted photonic crystal vertical cavity surface emitting laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(12): 1205001-1205001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.1205001
Citation: Jiang Guoqing, Xu Chen, Xie Yiyang, Xun Meng, Cao Yapeng, Chen Hongda. Fabrication of proton-implanted photonic crystal vertical cavity surface emitting laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(12): 1205001-1205001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.1205001

质子注入型光子晶体垂直腔面发射激光器制备

doi: 10.3788/IRLA201645.1205001
基金项目: 

国家自然科学基金(61376049,61076044,61107026,61204011);北京市自然科学基金(4132006,4102003,4112006);高等学校博士学科点专项科研基金(20121103110018);北京市教委创新能力提升计划(PXM2013_014204_000029)

详细信息
    作者简介:

    蒋国庆(1989-),男,硕士生,主要从事半导体垂直腔面发射激光器阵列光束操控方面的研究。Email:W252314026@126.com

  • 中图分类号: TN248.4

Fabrication of proton-implanted photonic crystal vertical cavity surface emitting laser

  • 摘要: 在光子晶体垂直腔面发射激光器中采用质子注入工艺,使台面工艺变成纯平面工艺,降低了光子晶体结构制备难度,简化了器件制备,提高了器件的均匀性。质子注入型光子晶体垂直腔面发射激光器中的光子晶体结构,在电流限制孔小于光子晶体缺陷孔时,仍能控制器件光束及模式特性,该结果可用于优化器件阈值电流,制备高性能低阈值电流基横模器件。实验所设计制备的器件,在注入电流小于12.5 mA时,阈值电流2.1 mA,出光功率大于1 mW,远场发射角小于7,有效验证了光子晶体结构在质子注入型面发射激光器中的光束改善及模式控制作用。
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出版历程
  • 收稿日期:  2016-04-21
  • 修回日期:  2016-05-17
  • 刊出日期:  2016-12-25

质子注入型光子晶体垂直腔面发射激光器制备

doi: 10.3788/IRLA201645.1205001
    作者简介:

    蒋国庆(1989-),男,硕士生,主要从事半导体垂直腔面发射激光器阵列光束操控方面的研究。Email:W252314026@126.com

基金项目:

国家自然科学基金(61376049,61076044,61107026,61204011);北京市自然科学基金(4132006,4102003,4112006);高等学校博士学科点专项科研基金(20121103110018);北京市教委创新能力提升计划(PXM2013_014204_000029)

  • 中图分类号: TN248.4

摘要: 在光子晶体垂直腔面发射激光器中采用质子注入工艺,使台面工艺变成纯平面工艺,降低了光子晶体结构制备难度,简化了器件制备,提高了器件的均匀性。质子注入型光子晶体垂直腔面发射激光器中的光子晶体结构,在电流限制孔小于光子晶体缺陷孔时,仍能控制器件光束及模式特性,该结果可用于优化器件阈值电流,制备高性能低阈值电流基横模器件。实验所设计制备的器件,在注入电流小于12.5 mA时,阈值电流2.1 mA,出光功率大于1 mW,远场发射角小于7,有效验证了光子晶体结构在质子注入型面发射激光器中的光束改善及模式控制作用。

English Abstract

参考文献 (17)

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