具有低带外响应的640×8元可见盲AlGaN紫外焦平面

马丁; 许金通; 刘福浩; 张燕; 李向阳

doi:10.3788/IRLA201746.S120001

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具有低带外响应的640×8元可见盲AlGaN紫外焦平面

马丁, 许金通, 刘福浩, 张燕, 李向阳

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马丁, 许金通, 刘福浩, 张燕, 李向阳. 具有低带外响应的640×8元可见盲AlGaN紫外焦平面[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(S1): 99-104. doi: 10.3788/IRLA201746.S120001

引用本文:

马丁, 许金通, 刘福浩, 张燕, 李向阳. 具有低带外响应的640×8元可见盲AlGaN紫外焦平面[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(S1): 99-104. doi: 10.3788/IRLA201746.S120001

Ma Ding, Xu Jintong, Liu Fuhao, Zhang Yan, Li Xiangyang. Visible blind AlGaN 640×8 pixel ultraviolet focal plane arrays with low out-of-band response[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(S1): 99-104. doi: 10.3788/IRLA201746.S120001

Citation:

Ma Ding, Xu Jintong, Liu Fuhao, Zhang Yan, Li Xiangyang. Visible blind AlGaN 640×8 pixel ultraviolet focal plane arrays with low out-of-band response[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(S1): 99-104. doi: 10.3788/IRLA201746.S120001

具有低带外响应的640×8元可见盲AlGaN紫外焦平面

doi: 10.3788/IRLA201746.S120001

马丁^1,2,3,
许金通^1,2,
刘福浩^1,2,
张燕^1,2,
李向阳^1,2

1.
中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海 200083;
2.
中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083;
3.
中国科学院大学,北京 100049

基金项目:

国家自然科学基金（61106097，61204134，11304335）;上海市自然科学基金（16ZR1441300）

详细信息

作者简介:
马丁(1984-),男,博士生,主要从事红紫外探测器读出电路相关方向的研究。Email:mading@mail.sitp.ac.cn

中图分类号: TN23

Visible blind AlGaN 640×8 pixel ultraviolet focal plane arrays with low out-of-band response

Ma Ding^1,2,3,
Xu Jintong^1,2,
Liu Fuhao^1,2,
Zhang Yan^1,2,
Li Xiangyang^1,2

1.
State Key Laboratories of Transducer Technology,Shanghai Institute of Technical Physics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200083,China;
2.
Key Laboratory of Infrared Imaging Materials and Detectors,Shanghai Institute of Technical Physics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200083,China;
3.
University of Chinese Academy of Sciences,Beijing,100049,China

摘要: 带外响应是紫外焦平面探测器的一个重要参数。作为一种宽禁带半导体材料，AlGaN基紫外探测器在紫外探测领域中具有十分优秀的带外响应性能及带外抑制能力。报道了一种6408元可见盲紫外焦平面探测器，其光谱响应范围为345~363.5 nm。为了表征该焦平面探测器在宽光谱范围内的带外响应性能，使用单色仪对该器件进行了光谱扫描，扫描光谱范围涵盖了从紫外波段到近红外波段的光谱范围。其结果表示，该紫外焦平面探测器具有优秀的带外响应性能，在300~1 160 nm光谱范围内，光谱带外响应比率仅为1.14%。
- 带外响应 /
- 紫外焦平面探测器 /
- 可见盲
Abstract: Out-of-band response is a very important parameter of UVFPA detectors. As a wide-gap semiconductor material, AlGaN based ultraviolet detector exhibits excellent performance of the out-of-band response and rejection in ultraviolet detection. Visible blind AlGaN 6408 pixel ultraviolet focal plane arrays (UVFPA) detector was reported, whose spectral response range is 345-363.5 nm. To characterize the out-of-band response of the detector over a wide spectral range, by monochromatic spectral scanning, a response spectrum of the UVFPA was obtained with a wide range from UV to near IR. The result shows that the UVFPA detector has an excellent performance of out-of-band response. The ratio is 1.14% over the whole spectral band from 300 to 1 160 nm.
- out-of-band response /
- UVFPA /
- visible blind

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具有低带外响应的640×8元可见盲AlGaN紫外焦平面

doi: 10.3788/IRLA201746.S120001

1. 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海 200083;

2. 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083;

3. 中国科学院大学,北京 100049

作者简介:
马丁(1984-),男,博士生,主要从事红紫外探测器读出电路相关方向的研究。Email:mading@mail.sitp.ac.cn

收稿日期: 2018-02-10
修回日期: 2018-05-20
刊出日期: 2018-06-25

基金项目:

国家自然科学基金（61106097，61204134，11304335）;上海市自然科学基金（16ZR1441300）

中图分类号: TN23

关键词:

摘要: 带外响应是紫外焦平面探测器的一个重要参数。作为一种宽禁带半导体材料，AlGaN基紫外探测器在紫外探测领域中具有十分优秀的带外响应性能及带外抑制能力。报道了一种6408元可见盲紫外焦平面探测器，其光谱响应范围为345~363.5 nm。为了表征该焦平面探测器在宽光谱范围内的带外响应性能，使用单色仪对该器件进行了光谱扫描，扫描光谱范围涵盖了从紫外波段到近红外波段的光谱范围。其结果表示，该紫外焦平面探测器具有优秀的带外响应性能，在300~1 160 nm光谱范围内，光谱带外响应比率仅为1.14%。