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高精度离轴非球面透镜的制造与检测

钟波 陈贤华 王健 周炼 石琦凯 邓文辉

钟波, 陈贤华, 王健, 周炼, 石琦凯, 邓文辉. 高精度离轴非球面透镜的制造与检测[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(7): 718003-0718003(8). doi: 10.3788/IRLA201847.0718003
引用本文: 钟波, 陈贤华, 王健, 周炼, 石琦凯, 邓文辉. 高精度离轴非球面透镜的制造与检测[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(7): 718003-0718003(8). doi: 10.3788/IRLA201847.0718003
Zhong Bo, Chen Xianhua, Wang Jian, Zhou Lian, Shi Qikai, Deng Wenhui. Fabrication and test of high-precision off-axis aspheric lens[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(7): 718003-0718003(8). doi: 10.3788/IRLA201847.0718003
Citation: Zhong Bo, Chen Xianhua, Wang Jian, Zhou Lian, Shi Qikai, Deng Wenhui. Fabrication and test of high-precision off-axis aspheric lens[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(7): 718003-0718003(8). doi: 10.3788/IRLA201847.0718003

高精度离轴非球面透镜的制造与检测

doi: 10.3788/IRLA201847.0718003
基金项目: 

科学挑战计划(JCKY2016212A506-0502);中国工程物理研究院激光聚变研究中心青年人才基金(RCFCZ1-2017-6)

详细信息
    作者简介:

    钟波(1986-),男,工程师,主要从事先进光学制造技术方面的研究。Email:zhongbo_foerc@163.com

    通讯作者: 陈贤华(1980-),男,高级工程师,博士,主要从事先进光学制造技术方面的研究。Email:xianhuachenmail@163.com
  • 中图分类号: TQ171.6

Fabrication and test of high-precision off-axis aspheric lens

  • 摘要: 针对强激光系统所需大口径非球面元件高精度、批量化的加工需求,提出了一种气囊抛光技术与柔性沥青小工具抛光技术相结合的大口径非球面元件高效制造方法。采用气囊抛光技术进行非球面保形抛光和快速修正抛光,实现磨削缺陷层快速去除以及低频误差快速修正。采用柔性沥青工具匀滑抛光技术,在低频误差不被恶化的情况下,控制元件中高频误差。在抛光过程中,利用球面干涉仪搭建的自准直波前干涉检测系统和粗糙度仪对非球面元件进行全频段误差检测。基于上述加工与检测方法完成了430 mm430 mm口径离轴非球面透镜样件实验加工,实验结果为元件通光口径内透射波前PV=0.1,GRMS=5.7 nm/cm,PSD1 RMS=1.76 nm,PSD2 RMS=1 nm,Rq=0.61 nm,并且中频段功率谱密度曲线均在要求的评判曲线之下。实验结果表明,离轴非球面透镜样件全频段指标均达到了合格指标要求。所述制造方法也适用于其他类型大口径非球面光学元件的高精度加工。
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出版历程
  • 收稿日期:  2018-02-05
  • 修回日期:  2018-03-03
  • 刊出日期:  2018-07-25

高精度离轴非球面透镜的制造与检测

doi: 10.3788/IRLA201847.0718003
    作者简介:

    钟波(1986-),男,工程师,主要从事先进光学制造技术方面的研究。Email:zhongbo_foerc@163.com

    通讯作者: 陈贤华(1980-),男,高级工程师,博士,主要从事先进光学制造技术方面的研究。Email:xianhuachenmail@163.com
基金项目:

科学挑战计划(JCKY2016212A506-0502);中国工程物理研究院激光聚变研究中心青年人才基金(RCFCZ1-2017-6)

  • 中图分类号: TQ171.6

摘要: 针对强激光系统所需大口径非球面元件高精度、批量化的加工需求,提出了一种气囊抛光技术与柔性沥青小工具抛光技术相结合的大口径非球面元件高效制造方法。采用气囊抛光技术进行非球面保形抛光和快速修正抛光,实现磨削缺陷层快速去除以及低频误差快速修正。采用柔性沥青工具匀滑抛光技术,在低频误差不被恶化的情况下,控制元件中高频误差。在抛光过程中,利用球面干涉仪搭建的自准直波前干涉检测系统和粗糙度仪对非球面元件进行全频段误差检测。基于上述加工与检测方法完成了430 mm430 mm口径离轴非球面透镜样件实验加工,实验结果为元件通光口径内透射波前PV=0.1,GRMS=5.7 nm/cm,PSD1 RMS=1.76 nm,PSD2 RMS=1 nm,Rq=0.61 nm,并且中频段功率谱密度曲线均在要求的评判曲线之下。实验结果表明,离轴非球面透镜样件全频段指标均达到了合格指标要求。所述制造方法也适用于其他类型大口径非球面光学元件的高精度加工。

English Abstract

参考文献 (15)

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