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电子束泵浦XeCl准分子激光器输出特性

黄超 易爱平 钱航 安晓霞 李高鹏

黄超, 易爱平, 钱航, 安晓霞, 李高鹏. 电子束泵浦XeCl准分子激光器输出特性[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(10): 1005003-1005003(6). doi: 10.3788/IRLA201948.1005003
引用本文: 黄超, 易爱平, 钱航, 安晓霞, 李高鹏. 电子束泵浦XeCl准分子激光器输出特性[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(10): 1005003-1005003(6). doi: 10.3788/IRLA201948.1005003
Huang Chao, Yi Aiping, Qian Hang, An Xiaoxia, Li Gaopeng. Output characteristic of electron-beam pumping XeCl excimer laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(10): 1005003-1005003(6). doi: 10.3788/IRLA201948.1005003
Citation: Huang Chao, Yi Aiping, Qian Hang, An Xiaoxia, Li Gaopeng. Output characteristic of electron-beam pumping XeCl excimer laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(10): 1005003-1005003(6). doi: 10.3788/IRLA201948.1005003

电子束泵浦XeCl准分子激光器输出特性

doi: 10.3788/IRLA201948.1005003
基金项目: 

激光与物质相互作用国家重点实验基金(SKLLIM1402)

详细信息
    作者简介:

    黄超(1979-),男,助理研究员,硕士,主要从事激光技术及应用方面的研究。Email:471356437@qq.com

  • 中图分类号: TN248

Output characteristic of electron-beam pumping XeCl excimer laser

  • 摘要: 为了确保窄脉宽XeCl准分子激光系统获得高峰值功率紫外激光脉冲,实验研究了紧凑型四向电子束泵浦XeCl准分子激光器的输出特性。通过调节激光腔室气体介质的总气压和气体摩尔比、激光器的充电电压、二极管阳极钛箔厚度等参数,发现了激光能量随以上条件的变化规律,分析得到了激光器运行的最佳条件。在最佳条件下XeCl准分子激光器的脉冲能量大于100 J、脉宽约200 ns,电光效率约为5.81。另外,通过改变激光器内部Marx发生器的开关气压,研究了紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器输出激光脉冲的延迟抖动特性,发现激光脉冲的延迟抖动可优于20 ns。研究结果表明:紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器可实现脉冲抖动小于20 ns、103 J的高能紫外激光输出,可满足窄脉宽XeCl准分子激光系统运行的需要。
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出版历程
  • 收稿日期:  2019-06-11
  • 修回日期:  2019-07-21
  • 刊出日期:  2019-10-25

电子束泵浦XeCl准分子激光器输出特性

doi: 10.3788/IRLA201948.1005003
    作者简介:

    黄超(1979-),男,助理研究员,硕士,主要从事激光技术及应用方面的研究。Email:471356437@qq.com

基金项目:

激光与物质相互作用国家重点实验基金(SKLLIM1402)

  • 中图分类号: TN248

摘要: 为了确保窄脉宽XeCl准分子激光系统获得高峰值功率紫外激光脉冲,实验研究了紧凑型四向电子束泵浦XeCl准分子激光器的输出特性。通过调节激光腔室气体介质的总气压和气体摩尔比、激光器的充电电压、二极管阳极钛箔厚度等参数,发现了激光能量随以上条件的变化规律,分析得到了激光器运行的最佳条件。在最佳条件下XeCl准分子激光器的脉冲能量大于100 J、脉宽约200 ns,电光效率约为5.81。另外,通过改变激光器内部Marx发生器的开关气压,研究了紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器输出激光脉冲的延迟抖动特性,发现激光脉冲的延迟抖动可优于20 ns。研究结果表明:紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器可实现脉冲抖动小于20 ns、103 J的高能紫外激光输出,可满足窄脉宽XeCl准分子激光系统运行的需要。

English Abstract

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