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基于光谱干涉技术的玻璃厚度及折射率测量方法

赵媛媛 肖作江 梁旭

赵媛媛, 肖作江, 梁旭. 基于光谱干涉技术的玻璃厚度及折射率测量方法[J]. 红外与激光工程, 2020, 49(2): 0213004-0213004. doi: 10.3788/IRLA202049.0213004
引用本文: 赵媛媛, 肖作江, 梁旭. 基于光谱干涉技术的玻璃厚度及折射率测量方法[J]. 红外与激光工程, 2020, 49(2): 0213004-0213004. doi: 10.3788/IRLA202049.0213004
Zhao Yuanyuan, Xiao Zuojiang, Liang Xu. Measurement method of glass thickness and refractive index based on spectral interference technology[J]. Infrared and Laser Engineering, 2020, 49(2): 0213004-0213004. doi: 10.3788/IRLA202049.0213004
Citation: Zhao Yuanyuan, Xiao Zuojiang, Liang Xu. Measurement method of glass thickness and refractive index based on spectral interference technology[J]. Infrared and Laser Engineering, 2020, 49(2): 0213004-0213004. doi: 10.3788/IRLA202049.0213004

基于光谱干涉技术的玻璃厚度及折射率测量方法

doi: 10.3788/IRLA202049.0213004
基金项目: 

吉林省重点研发项目(20180201025GX)

详细信息
    作者简介:

    赵媛媛(1994-),女,硕士生,主要从事光电检测技术方面的研究。Email:1792166418@qq.com

  • 中图分类号: TP394.1

Measurement method of glass thickness and refractive index based on spectral interference technology

  • 摘要: 基于光谱干涉技术提出了一种能够同时测量玻璃厚度及折射率的方法,该方法利用迈克尔逊光路,通过傅里叶变换算法对光谱仪接收的干涉信号进行解算,获取光谱干涉条纹的调制周期,根据待测玻璃样品放入测量臂前后,测量臂与参考臂所形成的光程差即可求出玻璃样品的几何厚度和折射率。该方法无需机械扫描延迟线并采用改进的傅里叶域下的相位提取算法,提高了测量系统抗干扰能力,探测速度快。实验结果表明:对玻璃样品的厚度测量精度优于±1μm,折射率测量精度±5×10-4
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出版历程
  • 收稿日期:  2019-10-05
  • 修回日期:  2019-11-25
  • 刊出日期:  2020-03-02

基于光谱干涉技术的玻璃厚度及折射率测量方法

doi: 10.3788/IRLA202049.0213004
    作者简介:

    赵媛媛(1994-),女,硕士生,主要从事光电检测技术方面的研究。Email:1792166418@qq.com

基金项目:

吉林省重点研发项目(20180201025GX)

  • 中图分类号: TP394.1

摘要: 基于光谱干涉技术提出了一种能够同时测量玻璃厚度及折射率的方法,该方法利用迈克尔逊光路,通过傅里叶变换算法对光谱仪接收的干涉信号进行解算,获取光谱干涉条纹的调制周期,根据待测玻璃样品放入测量臂前后,测量臂与参考臂所形成的光程差即可求出玻璃样品的几何厚度和折射率。该方法无需机械扫描延迟线并采用改进的傅里叶域下的相位提取算法,提高了测量系统抗干扰能力,探测速度快。实验结果表明:对玻璃样品的厚度测量精度优于±1μm,折射率测量精度±5×10-4

English Abstract

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