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多层四面体非晶碳膜的热稳定性

韩潇 朱嘉琦 周峰 陈晓丽

韩潇, 朱嘉琦, 周峰, 陈晓丽. 多层四面体非晶碳膜的热稳定性[J]. 红外与激光工程, 2012, 41(1): 144-148.
引用本文: 韩潇, 朱嘉琦, 周峰, 陈晓丽. 多层四面体非晶碳膜的热稳定性[J]. 红外与激光工程, 2012, 41(1): 144-148.
HAN Xiao, ZHU Jia-Qi, ZHOU Feng, CHEN Xiao-Li. Thermal stability of multilayer tetrahedral amorphous carbon films[J]. Infrared and Laser Engineering, 2012, 41(1): 144-148.
Citation: HAN Xiao, ZHU Jia-Qi, ZHOU Feng, CHEN Xiao-Li. Thermal stability of multilayer tetrahedral amorphous carbon films[J]. Infrared and Laser Engineering, 2012, 41(1): 144-148.

多层四面体非晶碳膜的热稳定性

Thermal stability of multilayer tetrahedral amorphous carbon films

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出版历程
  • 刊出日期:  2012-01-25

多层四面体非晶碳膜的热稳定性

摘要: 为了获得具有一定厚度的四面体非晶碳薄膜,利用过滤阴极真空电弧(FCVA)沉积技术,通过交替改变衬底偏压的方法制备了多层四面体非晶碳(ta?鄄C)薄膜。多层膜由富sp2子膜层Ai与富sp3子膜层Bi交替组成(i=1,2,3),各子膜层厚度比dAi/dBi约为1.0,总的膜厚约为1 m。根据Stoney公式计算多层膜的各子膜层压应力呈交替起伏变化。多层四面体非晶碳膜在500 ℃以下的真空退火处理后,可见光Raman谱表明,多层膜的富sp3杂化结构基本保持不变,纳米压痕测量的薄膜硬度与杨氏模量略微增加,纳米划擦实验表明,多层膜具有优良的耐磨性与附着性。因此,多层ta?鄄C膜具有优良的力学性能和热稳定性,是一种优异的航空航天用光学元件的表面保护膜。

English Abstract

参考文献 (31)

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