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圆锥形仿生蛾眼抗反射微纳结构的研制

郭旭东 董亭亭 付跃刚 陈驰 温春超

郭旭东, 董亭亭, 付跃刚, 陈驰, 温春超. 圆锥形仿生蛾眼抗反射微纳结构的研制[J]. 红外与激光工程, 2017, 46(9): 910002-0910002(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0910002
引用本文: 郭旭东, 董亭亭, 付跃刚, 陈驰, 温春超. 圆锥形仿生蛾眼抗反射微纳结构的研制[J]. 红外与激光工程, 2017, 46(9): 910002-0910002(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0910002
Guo Xudong, Dong Tingting, Fu Yuegang, Chen Chi, Wen Chunchao. Development of bionic moth-eye anti-reflective conical micro-nano structure[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(9): 910002-0910002(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0910002
Citation: Guo Xudong, Dong Tingting, Fu Yuegang, Chen Chi, Wen Chunchao. Development of bionic moth-eye anti-reflective conical micro-nano structure[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(9): 910002-0910002(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0910002

圆锥形仿生蛾眼抗反射微纳结构的研制

doi: 10.3788/IRLA201746.0910002
基金项目: 

吉林省自然科学基金(140101JC010015467)

详细信息
    作者简介:

    郭旭东(1995-),男,本科生,主要从事仿生光学方面的研究。Email:xu_dong_guo@163.com

  • 中图分类号: O485;TN305

Development of bionic moth-eye anti-reflective conical micro-nano structure

  • 摘要: 采用时域有限差分(FDTD)法对中红外波段(3~5 m)硅基底的圆锥形仿生蛾眼微纳结构进行了仿真模拟。通过对微纳结构占空比、周期和刻蚀深度等参数的分析,获得了具有良好抗反射特性的微纳结构的组合参数。为了更好地指导实际加工,对不同参数进行了公差分析。制作中应用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术在硅基底上制备得到该圆锥形仿生蛾眼微结构,并且使用热场发射扫描电子显微镜得到了该微结构的表面形貌图。采用红外成像光谱仪对单面微结构的测试结果表明,仿生蛾眼微结构的反射率在中红外波段约为5%。
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出版历程
  • 收稿日期:  2017-01-05
  • 修回日期:  2017-02-10
  • 刊出日期:  2017-09-25

圆锥形仿生蛾眼抗反射微纳结构的研制

doi: 10.3788/IRLA201746.0910002
    作者简介:

    郭旭东(1995-),男,本科生,主要从事仿生光学方面的研究。Email:xu_dong_guo@163.com

基金项目:

吉林省自然科学基金(140101JC010015467)

  • 中图分类号: O485;TN305

摘要: 采用时域有限差分(FDTD)法对中红外波段(3~5 m)硅基底的圆锥形仿生蛾眼微纳结构进行了仿真模拟。通过对微纳结构占空比、周期和刻蚀深度等参数的分析,获得了具有良好抗反射特性的微纳结构的组合参数。为了更好地指导实际加工,对不同参数进行了公差分析。制作中应用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术在硅基底上制备得到该圆锥形仿生蛾眼微结构,并且使用热场发射扫描电子显微镜得到了该微结构的表面形貌图。采用红外成像光谱仪对单面微结构的测试结果表明,仿生蛾眼微结构的反射率在中红外波段约为5%。

English Abstract

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